新方法 让光片“又宽又薄”

中科院深圳先进技术研究院正高级工程师李剑平团队提出了一种生成薄而宽的准无衍射激光光片的光瞳掩模优化设计方法。该方法提出了一个光片质量的全局评价因子，用以表征光片厚度、无衍射范围和旁瓣之间的制衡关系。理论和实验表明，优化后的掩模可将静态光片无衍射范围扩大50%，同时使其旁瓣低于20%。据此生成的新型静态光片可以在不牺牲轴向分辨率的前提下，对样品实现更大视野成像。